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薄膜压力传感器弹性材料 2016-07-19             

由于薄膜水压传感器弹性材料的厚度将减薄到0.3mm以下,给膜片加工带来很大困难,尤其是表面抛光时间不能过长,否则会造成厚度不均匀、平行度下降、内应力增大等现象。因此,要求弹性材料本身有良好的材质和良好的弹性性能、强度,更好的热稳定性,同时研究改变镀膜工艺路线和方法,提高镀膜工艺水平,以便在较粗糙的弹性膜片表面制造合格的绝缘薄膜

由于膜片减薄带来的问题关系到本项目产品能否满足环境适应性能和可靠性要求,尤其关系到批量生产时产品的质量一致性和可靠性保证,也是随着薄膜压力传感器在装备中的应用剧增而提出,因此针对在各类薄膜压力传感器中普及应用的新工艺进行研究。